篮球买球下单平台陶瓷加热器与静电卡盘的辞别启动依稀-押注篮球的app

发布日期：2025-04-12 07:36    点击次数：172

格隆汇3月3日丨珂玛科技(301611.SZ)接收特定对象调研时表示，陶瓷加热器主要哄骗于薄膜千里积成立，由于触及到高温制程，遴荐的陶瓷材料主要为氮化铝；静电卡盘主要哄骗于刻蚀成立，遴荐的陶瓷材料主要为氧化铝。跟着半导体工艺的发展，陶瓷加热器与静电卡盘的辞别启动依稀，比如公司分娩的哄骗于薄膜千里积成立的某款陶瓷加热器就也不错当作静电卡盘使用，同期具备高温加热和静电吸附双重功能，此类产物在客户端就称之为静电卡盘，而用于刻蚀成立的静电卡盘也启动触及高温制程，故陶瓷材料就需要从氧化铝切换为氮化铝。除少数工艺身手外，陶瓷加热器与静电卡盘的产线是无法共用的，氧化铝和氮化铝两种陶瓷材料需要抑制，不然会影响产物皑皑度，且加工工艺经过也有较大互异。现在公司具备完好的陶瓷加热器产线，正在迟缓擢升产能中，公司也领有孤独产线分娩静电卡盘，现在12寸静电卡盘正处于客户考证阶段。

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